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简单供气系统主要针对4英寸及以下半导体芯片厂、半导体材料的科研机构以及一些单台的工艺设备等。它们的制程简单，通常不需要连续性供气，对气体供应系统的投资预算低。由于流量小，不经常使用，气源多采用普通钢瓶（<50L）。输送系统多采用半自动气瓶柜或气瓶架加简单的控制面板；配置继电器控制，自动切换，手动吹扫，手动放空，有害性气体配备紧急切断阀。惰性气体瓶架则采用全手动系统，有些甚至用单瓶系统。所有气体共用一个气体房，甚至没有气体房，特气钢瓶和输送系统有时放在回风夹道，或直接放在工艺制造设备旁边或隔壁。如果没有特别危险气体一般共用一个抽风系统。简单供气系统通常存在安全隐患。

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在公式中常用ρ来表示气体密度，其单位则常为国际单位制中的千克每立方米（kg/m3），为比容的倒数。由于气体分子常会装在容器中移动，其质量一般会用密度来表示。密度是单位体积下的质量，也是比容的倒数。气体密度变化的范围很大．因为当受到压力或体积的限制时，气体分子之间可以靠得更近。密度的变化即为可压缩性，的密度和压力及温度都是状态变数，在过程中的变化会依照热力学的定律。针对静态气体而言，的密度在整个容器中是相同的。密度是一标量，若是固定质量气体，密度和容器的体积成反比。

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是四种基本物质状态之一（其他三种分别为固体、液体、等离子体）。可以由单个原子（如稀有气体）、一种元素组成的单质分子（如氧气）、多种元素组成化合物分子（如二氧化碳）等组成。气体混合物可以包括多种气体物质，比如空气。气体与液体和固体的显著区别就是气体粒子之间间隔很大。这种间隔使得人眼很难察觉到无色气体。气体与液体一样是流体：它可以流动，可变形。与液体不同的是气体可以被压缩。假如没有限制（容器或力场）的话，气体可以扩散，其体积不受限制，没有固定。气态物质的原子或分子相互之间可以自由运动。

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CO2二氧化碳的固体固体的二氧化碳,俗称干冰二氧化碳气体若被加压、降温到一定程度，就会形成白色的、像雪一样的固体，这种固体不经熔化就可直接变成气体，所以叫。 干冰具有很好的致冷作用，如制造冰淇淋。还是良好的保鲜剂，鱼、肉和其他易腐烂的食物装船运送几千里远，可用“干冰”保鲜这些食品，鸡蛋用“干冰”冷冻保鲜几乎是无限期的，把玫瑰花放在二氧化碳气体中，花蕾可保持三天不开花。