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的常规供气系统主要应用于4-6英寸 大规模集成电路厂，50MW以下的太阳能电池生产线，发光二极管的芯片工序线以及其它用气量中等规模的电子行业。对气体纯度控制的要求不苛刻，系统配备在满足安全的前提下尽量简单，节省投资。采用普通钢瓶（<50L）供气。特气输送系统采用气瓶柜。配置全自动PLC控制器，彩色触摸屏；气体面板采用气动阀门和压力传感器，可实现自动切换，自动氮气吹扫，自动真空辅助放空；多重安全防护措施，泄漏侦测，远程紧急切断；专用氮气吹扫起源等等。VMB采用支路气动阀，氮气吹扫，真空辅助排空。惰性气体多采用半自动气瓶架，继电器控制，自动切换，手动吹扫，手动放空；VMB主管气动阀，氮气吹扫；支路气动阀，氮气吹扫，真空辅助排空。气体房和抽风系统根据气体性质进行分类。

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干冰清洗系统使用条件，空气压缩机:1、清洁能力与压缩空气的压力成比例地变化，并且流速影响清洁速度。2、油和水分含量越少，清洁能力越好。3、根据喷嘴的类型，会影响压缩空气需求和流量。干冰：1、纯度越高（水分含量大于99.995％且小于10ppm），清洁效果就越高。2、降雪（0.1mm以下）：液态二氧化碳释放到大气中时产生的细雪状；3、颗粒（1.0mm或更小）：将颗粒粉碎在Blaster内并喷涂至1mm或更小；4、球团（3.0毫米或更小）：直径3毫米或更小的干冰。

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在研制过程中的质量如何，在分析比对方法中分析误差如何．标准气体在有效期内稳定性如何以及瓶内压力降低后的影响如何．均需要用不确定度来评价。由于不确定度是评价标准气体研制水平的指标，是判定标准气体质量的依据。不确定度的定义作为定量属性的不确定皮概念在广泛意义上是指测量结果的不肯定． 也可以理解为：测量结果带有的一个参数，用以表征合理赋予被测盘值的分散性。测盐不确定度一般包含若干分盐，其中一些分量可用测量列结果的统计分布评定，并以实验标准偏差来表征，也被称为A 类分量、A 类评定或A 类不确定度；另一些分量也可用标准偏差来表征的成分，是基于经验或其它信息的取定概率分布估算出来的，被称为B 类分量、B 类评定或8 类不确定度．而展伸不确定度般多给出二位有效数字，中间计算的不确定度可多取位。在实际工作中理解不确定度的商念、正确运用估计不确定度的方法，往往可以使我们得到个有意义的测量结果。

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产品作为现代工业重要的基础原料，应用范围十分广泛，在冶金、钢铁、石油、化工、机械、电子、玻璃、陶瓷、建材、建筑、食品加工、医药医疗等部门，均使用大量的常用气体或特种气体。气体应用，特别对这些领域的高新技术有重要的影响，是其不可缺少的原料气或工艺气。也只有各种新兴工业部门和现代科学技术的需要和推动，气体工业产品才能在品种、质量和数量等方面得到飞跃发展。